[发明专利]蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 201710196022.3 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN107267987A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 郑钟铉;朴弘植;梁熙星;刘仁浩;鞠仁说;金宝衡;南基龙 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 朴圣洁,王珍仙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供蚀刻液组合物，该蚀刻液组合物包含过硫酸盐、氟化合物、无机酸、环状胺化合物、有机酸和有机酸盐中的一种以上、磺酸化合物、氨基磺酸和水，并且，该蚀刻液组合物不包含环境管制物质。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液组合物，包含过硫酸盐、氟化合物、无机酸、环状胺化合物、有机酸和有机酸盐中的一种以上、磺酸化合物、氨基磺酸和水。
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