[发明专利]基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪在审
| 申请号： | 201710196199.3 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN106949969A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 付跃刚;林鹤;赵宇;胡源;刘智颖;王加科 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G01J3/45 | 分类号： | G01J3/45;G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 北京中理通专利代理事务所(普通合伙) 11633 | 代理人： | 刘慧宇 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪，属于光学测量领域，为解决现有干涉仪只能提供一种测量通道的问题，前置干涉成像系统，该系统由复色光源和干涉仪光学系统组成，该干涉仪为复色光源发出的光入射到扩束镜，扩束后发出的光入射到第一分光板，光经第一分光板反射后被准直透镜准直成平行光束，平行光束垂直依次入射到标准平晶及待测件上；光经标准平晶和待测件反射，反射光经过第一分光板透射到第二分光板上，经第二分光板经进入准直透镜出射成平行光，平行光再经分光光栅将复色光分成不同谱段的光，不同谱段的光通过同心球聚焦元件聚焦到中继成像系统上，再由CMOS探测器进行干涉成像检测和分析；本发明具有共光路多光轴特性，实现多光谱干涉检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 同心 聚焦 元件 光谱 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.基于同心球聚焦元件的多光谱干涉仪，其包括：前置干涉成像系统，该系统由复色光源(1)和干涉仪光学系统组成，该干涉仪光学系统包括扩束镜(2)、第一分光板(3)、准直透镜(4)、标准平晶(5)和第二分光板(7)；准直分光系统，该系统由准直透镜(8)和分光光栅(9)组成；其特征是，其还包括多通道频-空转换采样系统，该系统由同心球聚焦元件(10)、中继成像系统(11)和CMOS探测器(12)组成，中继成像系统(11)的入瞳与同心球聚焦元件(10)的中心位置重合；复色光源(1)发出的光入射到扩束镜(2)，扩束后发出的光入射到第一分光板(3)，光经第一分光板(3)反射后被准直透镜(4)准直成平行光束，平行光束垂直依次入射到标准平晶(5)及待测件(6)上；光经标准平晶(5)和待测件(6)反射，反射光经过第一分光板(3)透射到第二分光板(7)上，经第二分光板(7)反射后进入准直透镜(8)出射成平行光，平行光再经分光光栅(9)将复色光分成不同谱段的光，不同谱段的光通过同心球聚焦元件(10)聚焦到中继成像系统(11)上，再由CMOS探测器(12)进行干涉成像检测和分析。
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