[发明专利]一种碲锌镉单晶的新型单晶炉及生长工艺

摘要

本发明公开了一种碲锌镉单晶的新型单晶炉及生长工艺，设有炉体和加热电源，在炉膛内设有石英管，石英管内设有坩锅，坩锅内下部设有籽晶腔，在石英管下方设有支撑架，炉膛的上下两端设有密封堵头，所述炉体的炉膛内从下到上依次设有九个加热区；每个加热区设有与电源柜连通的电极和电缆、自控开关，还设有温控系统。本发明适用于碲锌镉单晶的生长，省去了机械运动，形成无震动生长环境，分区灵活地控制生长温度，大大缩短了升温化料和接籽晶的时间，提高了单晶的质量和生产效率。而且整机结构紧凑，占地面积小，减少设备成本，安装简单，并且程序化控制，运行精确，重复性稳定。利用该设备可较快生成大直径碲锌镉单晶体。

主权项

一种碲锌镉单晶的新型单晶炉，设有炉体(3)和加热电源，在炉膛(6)内设有石英管(5)，石英管内设有坩锅，坩锅内下部设有籽晶腔(13)，在石英管下方设有支撑架(10)，炉膛的上下两端设有密封堵头(7、8)，其特征是：所述炉体(3)的炉膛(6)内从下到上依次设有九个加热区，即：第一区、第二区、第三区、第四区、第五区、第六区、第七区、第八区、第九区；每个区各自设有与电源柜(1)连通的电极(4)和电缆(2)；并且还设有温控系统，每个区各自设有自控开关，并通过信号线(12)与控制器(11)进行控制连接，在每个区还设有控温电偶和测温电偶(9)，每个区中间位置放置控温电偶即：控温电偶1‑控温电偶9；同时，在籽晶(14)的头部、尾部、放肩部末端和晶体生长中部及尾部分别放置测温电偶即：测温电偶1‑测温电偶5；所述控温电偶和测温电偶与控制器进行信号连接，温控系统通过测温电偶所测量得到的实际晶体表面温度，调整控温电偶所对应区域内加热电源功率大小，以实现不同区域内的温度控制；电源柜、电缆、电极、控温电偶、测温电偶和控制器组成温控系统。