[发明专利]一种掩膜版与样品的贴合及分离装置

摘要

本发明公开了一种掩膜版与样品的贴合及分离装置，它包括箱体、罩壳、磁力单元及支撑板，所述支撑板上设有弹簧，所述罩壳设于箱体的底部，且罩壳与箱体结合；所述支撑板设于罩壳内，支撑板上的弹簧与箱体连接。本发明采用在箱体内设置磁力单元、在支撑板上设置弹簧并罩壳上设置定位框的结构，借助掩膜版的铁磁性，通过磁力单元吸附与弹簧的压合使掩膜版和样品在定位框的限定下沿垂直方向实现贴合和分离。避免了掩膜版与样品间发生横向摩擦而造成的划伤，具有贴合精准度高，操作更为快捷方便的优点。

主权项

一种掩膜版与样品的贴合及分离装置，其特征在于它包括：一个顶面设有开关座（11）、底面设有金属固定架（12）的矩形箱体（1），且金属固定架（12）上设有弹簧座（13）；一个上口设有接口（22）、下口设有定位框（21）的倒锥台的矩形罩壳（2）；一个由螺线管（31）、金属导线（32）、电池（33）及按钮开关（34）构成的磁力单元（3），且金属导线（32）将螺线管（31）、电池（33）及按钮开关（34）电连接；一个四角设有弹簧（41）的支撑板（4）；所述罩壳（2）设于箱体（1）的底部，且罩壳（2）的接口（22）与箱体（1）上金属固定架（12）的周边结合；所述支撑板（4）设于罩壳（2）内，支撑板（4）上的弹簧（41）与箱体（1）上金属固定架（12）的弹簧座（13）连接；所述磁力单元（3）的按钮开关（34）设于箱体（1）的开关座（11）上，螺线管（31）、金属导线（32）及电池（33）设于箱体（1）内，且螺线管（31）的轴线指向箱体（1）的顶面与底面。