[发明专利]一种单晶硅生长炉水冷套装置

摘要

本发明提供一种单晶硅生长炉水冷套装置，包括水冷法兰、两个进水管、两个出水管和水冷筒；水冷筒包括内筒，外筒和设置于内筒与外筒之间的第二隔水板；所述内筒外壁，外筒内壁和第二隔水板的板壁配套组成两个独立的水冷筒冷却水回路，每个独立的水冷筒冷却水回路包括一条竖直的直线回路和一条S形回路；所述直线回路顶端设置水冷筒进水口，底端连接S形回路底端；所述S形回路顶端设置水冷筒出水口；可以有效提高拉晶速率，减少晶棒生长时间；加装水冷套装置后，8.5寸单晶棒的等径生长平均拉速提高到1.2‑1.3mm/min，可以获得高收率、高品质，成本更低的晶锭。

主权项

1.一种单晶硅生长炉水冷套装置，其特征在于：包括水冷法兰(1)、两个进水管(3)、两个出水管(4)和水冷筒(2)；所述水冷法兰(1)的法兰圆盘内开有相互独立的圆环形水冷槽(8)和圆环形氩气槽(9)；所述氩气槽(9)上开设有一个穿过法兰圆盘的氩气进口(11)和若干个穿过法兰圆盘且能够向法兰圆盘下方出气的氩气出口(10)；所述水冷槽(8)一侧开设有一个穿过法兰圆盘的水冷套进水口(12)，水冷槽(8)上与水冷套进水口(12)相对的另一侧开设有一个穿过法兰圆盘的水冷套出水口(15)；所述水冷套出水口(15)两侧设置有进出水隔板(17)将水冷槽(8)分为带有水冷套进水口(12)的进水区和带有水冷套出水口(15)的出水区，所述进水区内开设有两个水冷法兰出水口(13)，所述出水区内开设有两个水冷法兰进水口(14)；所述水冷筒(2)包括内筒、外筒和设置于内筒与外筒之间的第二隔水板(7)；所述内筒外壁、外筒内壁和第二隔水板(7)的板壁配套组成两个独立的水冷筒冷却水回路，每个独立的水冷筒冷却水回路包括一条竖直的直线回路和一条S形回路；所述直线回路顶端设置水冷筒进水口，底端连接S形回路底端；所述S形回路顶端设置水冷筒出水口；所述进水管(3)一端连接水冷法兰出水口(13)，一端连接水冷筒进水口；所述出水管(4)一端连接水冷法兰进水口(14)，一端连接水冷筒出水口。