[发明专利]弧形栅-漏复合场板电流孔径异质结器件

摘要

本发明公开了一种弧形栅‑漏复合场板电流孔径异质结器件，其自下而上包括：肖特基漏极(13)、衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个二级阶梯结构的电流阻挡层(4)、孔径(5)、沟道层(6)、势垒层(7)、帽层(8)与栅极(10)，该帽层的两侧刻有台阶(9)，沟道层和势垒层的两侧刻有源槽(11)，源槽中淀积有源极(12)，在肖特基漏极底部以外的区域覆盖有钝化层(14)，钝化层左右两边的上部和背面分别刻有弧形台阶，弧形台阶上淀积有金属，形成弧形栅场板(15)和弧形漏场板(16)，弧形栅场板和弧形漏场板分别与栅极和肖特基漏极电气连接。本发明双向阻断好、导通电阻小、成品率高，可用于电力电子系统。

主权项

一种弧形栅‑漏复合场板电流孔径异质结器件，包括：衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)、帽层(8)和钝化层(14)，沟道层(6)和势垒层(7)的两侧刻蚀有源槽(11)，两侧源槽(11)中淀积有两个源极(12)，源极(12)之间的势垒层(7)上外延有帽层(8)，帽层(8)两侧刻有两个台阶(9)，帽层(8)上面淀积有栅极(10)，衬底(1)下面淀积有肖特基漏极(13)，钝化层(14)完全包裹在除肖特基漏极(13)底部以外的所有区域，两个电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)，其特征在于：所述两个电流阻挡层(4)，采用由第一阻挡层(41)和第二阻挡层(42)构成的二级阶梯结构，且第二阻挡层(42)位于第一阻挡层(41)的内侧；所述钝化层(14)，其两侧均采用双弧形台阶，即在钝化层两边的上部区域刻有弧形栅台阶，下部区域刻有弧形漏台阶，其中：每个弧形栅台阶处淀积有金属，形成对称的两个弧形栅场板(15)，该弧形栅场板(15)与栅极(10)电气连接；每个弧形漏台阶处淀积有金属，形成对称的两个弧形漏场板(16)，该弧形漏场板(16)与肖特基漏极(13)电气连接。