[发明专利]基于弧形源场板的垂直结构电力电子器件有效
| 申请号： | 201710198250.4 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN107134491B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 毛维;石朋毫;郝跃;薛军帅 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/06;H01L29/40;H01L21/335;H01L21/28 |
| 代理公司： | 61205 陕西电子工业专利中心 | 代理人： | 王品华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于弧形源场板的垂直结构电力电子器件，其包括：衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、左、右两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和钝化层(12)，沟道层(6)和势垒层(7)的两侧刻蚀有源槽(8)，两侧源槽(8)中淀积有两个源极(9)，源极(9)之间的势垒层上面淀积有栅极(10)，衬底(1)下面淀积有漏极(11)，钝化层(12)完全包裹在除漏极(11)底部以外的所有区域，钝化层两边刻有弧形源台阶(13)，弧形源台阶处淀积有金属，形成弧形源场板(14)，该弧形场板与源极电气连接。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高，可用于电力电子系统。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 弧形 源场板 垂直 结构 电力 电子器件 | ||
【主权项】：
1.一种基于弧形源场板的垂直结构电力电子器件，包括：衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、左、右两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和钝化层(12)，沟道层(6)和势垒层(7)的两侧刻蚀有源槽(8)，两侧源槽(8)中淀积有两个源极(9)，源极(9)之间的势垒层上面淀积有栅极(10)，衬底(1)下面淀积有漏极(11)，钝化层(12)完全包裹在除漏极(11)底部以外的所有区域，两个对称的电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)，其特征在于：/n所述两个电流阻挡层(4)，采用由第一阻挡层(41)和第二阻挡层(42)构成的二级台阶结构，且第一阻挡层(41)位于第二阻挡层(42)的外侧；/n所述钝化层(12)，采用弧形结构，即在钝化层的两边刻有弧形源台阶(13)，弧形源台阶上淀积有金属，形成对称的两个弧形源场板(14)，该弧形源场板与源极电气连接；/n所述弧形源场板(14)，其上方以及钝化层(12)上方均覆盖有绝缘介质材料，形成保护层(15)。/n
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