[发明专利]具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201710198481.5 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108663037B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | D·普拉蒂;C·瓦尔扎希纳;T·基亚里洛;P·佛朗哥 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张昊 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪。具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111‑114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121‑124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 频率 调节 正交 误差 静电 消除 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS陀螺仪(60，100)，包括：支撑结构(125，127)；质量块(111‑114)，所述质量块在彼此垂直的驱动方向(D1)和感测方向(D3)上相对于所述支撑结构可移动，所述可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)，所述驱动结构耦合至所述可移动质量块以便以驱动频率控制所述可移动质量块在所述驱动方向上的移动；运动感测电极(130)，所述运动感测电极耦合至所述可移动质量块，以便检测所述可移动质量块在所述感测方向上的移动；以及正交补偿电极(121‑124)，所述正交补偿电极耦合至所述可移动质量块，以便生成与所述正交力矩相反的补偿力矩；所述可移动质量块具有可变谐振频率，所述谐振频率与所述驱动频率之差为频率失配；所述陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对所述正交补偿电极进行偏置，从而以预设频率失配来驱动所述可移动质量块。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于意法半导体股份有限公司，未经意法半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710198481.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种车辆前轮转动跟踪的方法
- 下一篇：传感器元件、传感器、电子设备以及移动体
