[发明专利]一种双光路型激光位移传感器有效
| 申请号： | 201710199279.4 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN106931888B | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 居冰峰;黄浩钧;姜蕾;陆宏杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双光路型激光位移传感器。分光镜、激光器、发射镜组和滤光片沿同一直线方向依次布置，滤光片安装在壳体的侧壁上朝向被测表面；左反射镜和右反射镜分别对称地布置在激光器的左右两侧，分光镜侧方布置有光敏器件和接收镜组，激光器、发射镜组和滤光片光轴重合并垂直于所述分光镜的光轴，分光镜的一面朝向光敏器件和接收镜组；左反射镜和右反射镜的反射光分别入射到分光镜的两面上分别发生反射和透射而光束叠加，再一起经接收镜组成像于光敏器件。本发明所述的双光路结构，减小了不均匀被测表面导致的测量误差，并且结构紧凑，硬件成本低，装调容易。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双光路型 激光 位移 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种双光路型激光位移传感器，其特征在于：包括壳体(1)和安装在壳体内的光敏器件(2)、接收镜组(3)、分光镜(4)、激光器(5)、发射镜组(6)、右反射镜(7)、滤光片(9)和左反射镜(10)，分光镜(4)、激光器(5)、发射镜组(6)和滤光片(9)沿同一直线方向依次布置，滤光片(9)安装在壳体(1)的侧壁上，测量时滤光片(9)朝向被测表面(8)；左反射镜(10)和右反射镜(7)分别对称地布置在激光器(5)的左右两侧，分光镜(4)一侧方布置有光敏器件(2)和接收镜组(3)；所述激光器(5)、发射镜组(6)和滤光片(9)光轴重合并垂直于所述分光镜(4)的光轴，分光镜(4)发生反射的面朝向光敏器件(2)和接收镜组(3)。
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