[发明专利]一种晶体硅及其制备方法在审
申请号: | 201710200003.3 | 申请日: | 2017-03-30 |
公开(公告)号: | CN106987901A | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 陈红荣;胡动力;徐云飞;孙庚昕;何亮 | 申请(专利权)人: | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C30B27/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人: | 郝传鑫,熊永强 |
地址: | 338000 江西省新余*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种晶体硅的制备方法,包括在坩埚中填装熔融状态的硅熔体,然后调节温度,进入长晶阶段,在长晶过程中,向坩埚内持续或间断地通入空气直至长晶结束,所述空气的流量为1L/min‑6L/min,经退火冷却后,得到晶体硅。本发明提供的晶体硅的制备方法,通过在晶体硅制备的长晶阶段通入空气,减少了晶体硅中的碳和碳化硅杂质含量,提高了晶体硅的出材率,降低了晶体硅的位错。本发明还提供了一种晶体硅,该晶体硅位错较少,少子寿命较高,质量较好。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种晶体硅的制备方法,其特征在于,包括:在坩埚中填装熔融状态的硅熔体,然后调节温度,进入长晶阶段,在所述长晶过程中,向所述坩埚内持续或间断地通入空气直至长晶结束,所述空气的流量为1L/min‑6L/min,经退火冷却后,得到晶体硅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西赛维LDK太阳能高科技有限公司,未经江西赛维LDK太阳能高科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710200003.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。