[发明专利]基板处理装置

摘要

提供能够抑制基板产生品质不良的基板处理装置。实施方式的基板处理装置(10)具有：保持基板的基板保持板(20)；处理液保持板(40)，具有排出处理液S的排出口(40a)，并设于与由基板保持板(20)保持的基板W的表面对置并离开的位置，在与由基板保持板(20)保持的基板W的表面之间保持从排出口(40a)排出的处理液S；加热器(41)，设于处理液保持板(40)，加热处理液保持板(40)；升降机构(60)，使处理液保持板(40)以及加热器(41)相对于由基板保持板(20)保持的基板升降；及疏液层(43)，以包围排出口(40a)的方式呈环状设置于处理液保持板(40)的基板W侧的表面，并排斥处理液S。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，具备：基板保持部，对基板进行保持；处理液保持板，具有排出处理液的排出口，并设置于与由所述基板保持部保持的所述基板的表面对置并离开的位置，所述处理液保持板在与由所述基板保持部保持的所述基板的表面之间，保持从所述排出口排出的所述处理液；加热器，设置于所述处理液保持板，对所述处理液保持板进行加热；升降机构，使所述处理液保持板以及所述加热器相对于由所述基板保持部保持的所述基板升降；以及疏液层，以包围所述排出口的方式呈环状设置于所述处理液保持板的所述基板侧的表面，并排斥所述处理液。