[发明专利]表面处理金属氧化物溶胶

摘要

本发明课题是提供表面处理金属氧化物溶胶及其制造方法，所述表面处理金属氧化物溶胶能够实现兼具高折射率及高透光性、低雾度及珠粒小、高敏感度、高残膜率、高分辨率、高耐擦伤性及高耐气候性的抗蚀剂膜。本发明表面处理金属氧化物溶胶包含经表面处理的金属氧化物粒子和分散介质，所述经表面处理的金属氧化物粒子是在金属氧化物粒子的表面设置规定量的含有(甲基)丙烯酸系基团的有机硅化合物而得到的。金属氧化物粒子含有以TiO2计为50质量％以上的二氧化钛。在经表面处理的金属氧化物粒子上，相对于100质量份金属氧化物粒子而言，设置有以Rn‑SiO(4‑n)/2计为0.1～60质量份的含有(甲基)丙烯酸系基团的有机硅化合物。

主权项

表面处理金属氧化物溶胶，其特征在于，其包含经表面处理的金属氧化物粒子和分散介质，所述经表面处理的金属氧化物粒子是将金属氧化物粒子的表面用式(1)表示的含有(甲基)丙烯酸系基团的有机硅化合物进行处理而得到的，所述金属氧化物粒子含有以TiO2计为50质量％以上的二氧化钛，在所述金属氧化物粒子表面上，相对于100质量份所述金属氧化物粒子而言，设置有以R1n‑SiO(4‑n)/2计为0.1～60质量份的所述有机硅化合物，其中，R1为选自甲基丙烯酸系基团及丙烯酸系基团中的至少一者，R1彼此可以相同或不同，n为1～3的整数，相对于100质量份所述金属氧化物粒子而言，设置于所述金属氧化物粒子表面上的所述有机硅化合物和除此以外存在于所述表面处理金属氧化物溶胶中的所述有机硅化合物的总含量以R1n‑SiO(4‑n)/2计为0.1～100质量份，在所述金属氧化物粒子与所述含有(甲基)丙烯酸系基团的有机硅化合物之间，具有二氧化硅复合氧化物的层和二氧化硅层中的至少一者，所述二氧化硅复合氧化物选自二氧化硅氧化锆、二氧化硅氧化铝、二氧化硅二氧化钛及二氧化硅锡，所述表面处理金属氧化物溶胶中，钠以Na2O浓度计为25ppm以下，钾以K2O浓度计小于0.5质量％，氨以NH3浓度计小于1000ppm，R1n‑SiX1(4‑n)   (1)，其中，R1为选自甲基丙烯酸系基团及丙烯酸系基团中的至少一者，R1彼此可以相同或不同，n为1～3的整数，X1为烷氧基。