[发明专利]一种蓝宝石晶片退火前清洗液及其制备方法和清洗工艺在审
| 申请号： | 201710205214.6 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107164109A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 奚耀华 | 申请（专利权）人： | 吴江创源新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D1/14;C11D1/34;C11D1/37;C11D3/30;C11D3/04;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215211 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石晶片退火前清洗液及其制备方法和清洗工艺，其中清洗液按照重量百分比包括以下组分碱或酸10‑60%；表面活性剂0.01‑1%；RO水余量；清洗工艺为蓝宝石晶片的清洗依次经过第一清洗液槽、第二清洗液槽、RO水清洗槽和热风干燥槽；本发明提供的清洗液不形成泡沫，清洗槽中均设有超声、恒温装置，提高了清洗效率；由于退火前的晶片较脏，前两个清洗槽都配制清洗液循环过滤装置，清洗槽内的清洗液四面溢流、泵打循环，并通过2级过滤，既节约了清洗液，又使得进入清洗槽内的清洗液始终是干净的，增强了清洗效果；前两个清洗槽内设有晶片旋转和上下摆动装置，使得晶片始终在流动液体中清洗，晶片边缘部分随着晶片的转动和上下摆动得到清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶片 退火 清洗 及其 制备 方法 工艺 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶片退火前清洗液，其特征在于，按照重量百分比包括以下组分：碱或酸 10‑60%；表面活性剂 0.01‑1%；RO水余量。
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