[发明专利]一种显影装置以及显影处理方法在审
| 申请号： | 201710205380.6 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106873318A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 沈楠 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种显影装置以及显影处理方法，该显影装置包括显影喷嘴、连接管路以及显影箱，其中所述显影箱用于盛放显影液；所述连接管路用于连通所述显影喷嘴与所述显影箱，将所述显影液输送至所述显影喷嘴；所述显影喷嘴用于将所述显影液喷淋至待显影的目标区域，且所述显影喷嘴的位置可调。这样，在使用该显影装置对待显影的目标区域进行显影处理，以实现对TFT图形尺寸的补偿时，由于显影装置中用于喷淋显影液的显影喷嘴的位置可调，因此，可以更加灵活地对待显影的目标区域进行显影处理，进而有效地对TFT图形的尺寸进行补偿，减小TFT图形的尺寸差异，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 以及 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种显影装置，其特征在于，所述显影装置包括：显影喷嘴、连接管路以及显影箱，其中：所述显影箱用于盛放显影液；所述连接管路用于连通所述显影喷嘴与所述显影箱，将所述显影液输送至所述显影喷嘴；所述显影喷嘴用于将所述显影液喷淋至待显影的目标区域，且所述显影喷嘴的位置可调。
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