[发明专利]柔性可穿戴气压传感器、其制备方法与应用有效
申请号: | 201710206612.X | 申请日: | 2017-03-31 |
公开(公告)号: | CN108663154B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 李立强;孟彦成;李红卫;王曙光 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | G01L9/06 | 分类号: | G01L9/06 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王锋 |
地址: | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性可穿戴气压传感器、其制备方法与应用。所述柔性可穿戴气压传感器包括柔性顶层,所述柔性顶层具有第一表面和与第一表面相背对的第二表面,所述第二表面具有微观结构,所述微观结构能够针对所承受压力大小的变化而作出灵敏可分辨的响应,且与电源电连接;柔性底层,所述柔性底层具有第三表面,至少第三表面是导电的,且与微观结构电性接触;以及,形成于柔性顶层和柔性底层之间的密封气室,所述密封气室的至少局部室壁由第二表面的至少局部区域和第三表面的至少局部区域形成,且密封气室内的气压达到设定真空度。本发明的柔性可穿戴气压传感器具有柔性可穿戴的特性,可测试的气压范围为20KPa到101KPa,制备工艺简单,成本低廉。 | ||
搜索关键词: | 柔性 穿戴 气压 传感器 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种柔性可穿戴气压传感器,其特征在于包括:柔性顶层,具有第一表面和与第一表面相背对的第二表面,所述第二表面具有微观结构,所述微观结构能够针对所承受压力大小的变化而作出灵敏可分辨的响应,所述微观结构与电源电连接;柔性底层,具有第三表面,至少所述第三表面是导电的,且所述第三表面与所述微观结构电性接触;以及,形成于所述柔性顶层和柔性底层之间的密封气室,所述密封气室的至少局部室壁由所述第二表面的至少局部区域和所述第三表面的至少局部区域形成,且所述密封气室内的气压达到设定真空度。
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