[发明专利]示教系统、示教方法、清洗装置、存储介质及维护套件

摘要

示教装置包括：臂侧位置传感器，该臂侧位置传感器安装于臂，并发送位置信号；虚设晶片，该虚设晶片载置于载物台上；虚设晶片侧位置传感器，该虚设晶片侧位置传感器安装于虚设晶片；以及信号接收部，该信号接收部接收到来自臂侧位置传感器的位置信号而求出臂侧位置传感器的位置坐标，并接收到来自虚设晶片侧位置传感器的位置信号而求出虚设晶片侧位置传感器的位置坐标。控制部根据虚设晶片侧位置传感器的位置坐标算出当臂对晶片进行把持时的臂侧位置传感器的位置坐标，并且，所述控制部以臂侧位置传感器朝算出的位置坐标移动的方式使臂移动。

主权项

一种示教系统，其特征在于，包括：载物台，该载物台供晶片载置；一对臂，该一对臂对所述晶片进行把持，且能打开关闭；臂移动机构，该臂移动机构使所述一对臂相对于所述载物台进行移动；控制部，该控制部对所述臂移动机构的动作进行控制；臂侧位置传感器，该臂侧位置传感器安装于所述一对臂，并发送位置信号；虚设晶片，该虚设晶片载置于所述载物台上；虚设晶片侧位置传感器，该虚设晶片侧位置传感器安装于所述虚设晶片，并发送位置信号；以及信号接收部，该信号接收部接收来自所述臂侧位置传感器的位置信号而求出所述臂侧位置传感器的位置坐标，并接收来自所述虚设晶片侧位置传感器的位置信号而求出所述虚设晶片侧位置传感器的位置坐标，所述控制部根据所述虚设晶片侧位置传感器的位置坐标算出当所述一对臂对所述晶片进行把持时的所述臂侧位置传感器的位置坐标，并且，所述控制部以所述臂侧位置传感器朝算出的位置坐标移动的方式，一边确认基于所述臂侧位置传感器的位置信号求出的所述臂侧位置传感器的位置坐标，一边控制所述臂移动机构的动作而使所述一对臂移动。