[发明专利]多晶硅还原炉自动进料方法和装置有效
| 申请号： | 201710206853.4 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN108658079B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王文;梁建龙;张瑜龙;蔡芳芳;张文龙;罗飞飞;郑安;刘方旭 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅还原炉自动进料方法，其包括如下步骤：预设给定氢气进料曲线，并按照给定氢气进料曲线输出每时基对应的给定氢气流量；预设给定配比曲线，其中包括每时基对应的给定三氯氢硅流量与实际氢气流量的配比值；测量每时基对应的实际氢气流量；根据给定配比曲线中每时基对应的给定三氯氢硅流量与实际氢气流量的配比值以及该时基对应的实际氢气流量得到每时基对应的给定三氯氢硅进料值，并输出每时基对应的给定三氯氢硅流量。相应地，提供一种多晶硅还原炉自动进料装置。本发明能够自动控制多晶硅还原炉进料，从而减少甚至避免了人为操作，而且重复性高，能够适应不同的工况和参数，易于调整和改进。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 自动 进料 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原炉自动进料方法，其特征在于，包括如下步骤：预设给定氢气进料曲线，并按照给定氢气进料曲线输出每时基对应的给定氢气流量；预设给定配比曲线，其中包括每时基对应的给定三氯氢硅流量与实际氢气流量的配比值；测量每时基对应的实际氢气流量；根据给定配比曲线中每时基对应的给定三氯氢硅流量与实际氢气流量的配比值以及该时基对应的实际氢气流量得到每时基对应的给定三氯氢硅进料值，并输出每时基对应的给定三氯氢硅流量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新特能源股份有限公司，未经新特能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710206853.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种碳化硅冶炼工艺
- 下一篇：氧化处理提纯金属硅的方法
