[发明专利]光发射器装置、光声气体传感器和用于形成光发射器装置的方法有效
| 申请号： | 201710207663.4 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107265392B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | C.格拉策;S.平德尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01N21/17 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;杜荔南 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及光发射器装置、光声气体传感器和用于形成光发射器装置的方法。一种光发射器装置包括发射器部件，所述发射器部件包括布置在膜结构上的加热器结构。膜结构位于第一腔上方。另外，第一腔位于膜结构和发射器部件的支撑衬底的至少一部分之间。此外，加热器结构被配置为：如果预定义电流流过加热器结构，则发射光。另外，光发射器装置包括具有凹部的盖衬底。将盖衬底附接到发射器部件，使得凹部在膜结构和盖衬底之间形成第二腔。此外，第二腔中的压强小于100mbar。 | ||
| 搜索关键词： | 发射器 装置 声气 传感器 用于 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种光发射器装置（100、210、400、500、600、700），包括：发射器部件，包括布置在膜结构（120）上的加热器结构（110），其中所述膜结构（120）位于第一腔（130）上方，其中所述第一腔（130）位于所述膜结构（120）和所述发射器部件的支撑衬底（140）的至少一部分之间，其中所述加热器结构（110）被配置为：如果预定义电流流过所述加热器结构（110），则发射光；和具有凹部（160）的盖衬底（150），其中所述盖衬底（150）附接到所述发射器部件，使得所述凹部（160）在所述膜结构（120）和所述盖衬底（150）之间形成第二腔（170），并且其中所述第二腔（170）中的压强小于100mbar。
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