[发明专利]气体流量传感器有效
| 申请号： | 201710208190.X | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107402048B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 钟强;赵豪;刁海丰;崔倩;程驰;孙晓雅;徐传毅 | 申请（专利权）人： | 纳智源科技（唐山）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01F1/20 | 分类号： | G01F1/20;G01P5/00 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 宋菲;刘兰兰 |
| 地址： | 063000 河北省唐山市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体流量传感器，包括：壳体，以及设置在壳体内部的电极以及第一高分子薄膜，其中，壳体具有相对设置的第一端面和第二端面，第一端面上开设有至少一个进气孔，第二端面上开设有至少一个出气孔；电极和第一高分子薄膜之间形成气流通道；电极沿壳体的中心轴线方向设置，第一高分子薄膜为套设在电极外部的筒状薄膜，其形状与电极形状相匹配，且第一高分子薄膜上开设有至少一个振膜；其中，每个振膜具有与第一高分子薄膜连接一体的固定端以及能够在待测气体的带动下与电极相互摩擦的自由端。本发明提供的气体流量传感器解决了现有技术中气体流量传感器输出信号偏小、灵敏度较低并且制作工艺复杂的问题，使组装简单，易实施。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 流量传感器 | ||
【主权项】：
1.一种气体流量传感器，其特征在于，包括：壳体，设置在所述壳体内部的电极以及第一高分子薄膜，其中，所述壳体具有相对设置的第一端面和第二端面，所述第一端面上开设有用于供待测气体流入的至少一个进气孔，所述第二端面上开设有用于供待测气体流出的至少一个出气孔；所述电极和所述第一高分子薄膜之间形成气流通道；所述电极沿所述壳体的中心轴线方向设置，所述第一高分子薄膜为套设在所述电极外部的筒状薄膜，所述第一高分子薄膜的形状和所述电极的形状相匹配，且所述第一高分子薄膜上进一步开设有至少一个振膜；气流通过进气孔，进入所述气流通道带动所述振膜振动；其中，每个振膜具有与所述第一高分子薄膜连接一体的固定端以及能够在所述待测气体的带动下与所述电极相互摩擦的自由端；所述电极为所述气体流量传感器的信号输出端。
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