[发明专利]用于eWLB封装中的换能器的系统和方法有效
| 申请号： | 201710208297.4 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107265389B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | A.德赫;D.卢高尔;D.迈尔;S.平德尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;G01N27/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;杜荔南 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开用于eWLB封装中的换能器的系统和方法。根据实施例，一种传感器封装包括：电绝缘基板，所述电绝缘基板包括位于其中的腔体；环境传感器；集成电路管芯，其被嵌入在所述电绝缘基板中；以及多个导电互连结构，其将所述环境传感器耦合到所述集成电路管芯。所述环境传感器被所述电绝缘基板支撑并被邻近所述腔体布置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 ewlb 封装 中的 换能器 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种传感器封装，包括：电绝缘基板，所述电绝缘基板包括位于其中的腔体；环境传感器，其被所述电绝缘基板支撑并被邻近所述腔体布置；集成电路管芯，其被嵌入在所述电绝缘基板中；以及多个导电互连结构，其将所述环境传感器耦合到所述集成电路管芯。
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