[发明专利]一种快门装置有效
申请号: | 201710210543.X | 申请日: | 2017-03-31 |
公开(公告)号: | CN108663871B | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 王彦飞;章富平;贾翔 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03B9/14 | 分类号: | G03B9/14;G03B9/08 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种快门装置,包括遮光运动模块和运动控制模块,所述运动控制模块控制所述遮光运动模块运动,所述遮光运动模块包括遮光单元、驱动单元和信号测量单元,所述遮光单元包括两个叶片,所述运动控制模块发出一控制信号,所述驱动单元接收所述控制信号并驱动所述两个叶片运行,所述信号测量单元实时测量并反馈所述两个叶片的运行状态给运动控制模块,所述运动控制模块依据反馈的运行状态更新所述控制信号,解决了现有的快门曝光剂量精度不高以及漏光的问题,满足各种曝光剂量的需求,控制曝光剂量的精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 快门 装置 | ||
【主权项】:
1.一种快门装置,其特征在于,包括遮光运动模块和运动控制模块,所述运动控制模块控制所述遮光运动模块运动,所述遮光运动模块包括遮光单元、驱动单元和信号测量单元,所述遮光单元包括两个叶片,所述运动控制模块发出一控制信号,所述驱动单元接收所述控制信号并驱动所述两个叶片运行,所述信号测量单元实时测量并反馈所述两个叶片的运行状态给运动控制模块,所述运动控制模块依据反馈的运行状态更新所述控制信号。
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