[发明专利]波前传感器的检测装置和方法有效
| 申请号： | 201710210761.3 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN108663124B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 翟思洪;何经雷 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波前传感器的检测装置和方法，该检测装置包括：球面波产生装置，用于产生球面波；光束调整单元，设置在球面波产生装置与夏克‑哈特曼波前传感器之间，用于对球面波进行调节；移动台，用于带动所述夏克‑哈特曼波前传感器沿光轴方向移动；位移干涉仪，用于测量所述夏克‑哈特曼波前传感器的位置；以及数据采集处理系统，与所述夏克‑哈特曼波前传感器和位移干涉仪分别连接，用于实时接收和计算夏克‑哈特曼波前传感器和位移干涉仪的数据。本发明采用位移干涉仪与夏克‑哈特曼波前传感器配合进行测量，实现对夏克‑哈特曼波前传感器曲率半径测量分辨率的高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 哈特曼波前传感器 球面波 检测装置 干涉仪 波前传感器 产生装置 数据采集处理系统 测量 光束调整单元 光轴方向移动 曲率半径测量 高精度检测 实时接收 移动台 分辨率 干涉 配合 | ||
【主权项】：
1.一种波前传感器的检测装置，其特征在于，包括：/n球面波产生装置，用于产生球面波；/n光束调整单元，设置在球面波产生装置与夏克-哈特曼波前传感器之间，用于对球面波进行调节从而实现不同曲率半径球面波的输出；/n移动台，用于带动所述夏克-哈特曼波前传感器沿光轴方向移动；/n位移干涉仪，用于测量所述夏克-哈特曼波前传感器的位置；/n以及/n数据采集处理系统，与所述夏克-哈特曼波前传感器和位移干涉仪分别连接，用于实时接收和处理所述夏克-哈特曼波前传感器移动过程中测得的所述球面波的波前曲率半径和位移干涉仪测得的夏克-哈特曼波前传感器的位置数据，并用于根据夏克-哈特曼波前传感器在每个位置测得的波前曲率半径计算每个位置的波前曲率半径变化量，根据测得的夏克-哈特曼波前传感器每次移动的位置数据，计算夏克-哈特曼波前传感器的位移变化量，并根据该波前曲率半径变化量和位移变化量计算所述夏克-哈特曼波前传感器对波前曲率半径的测量分辨率。/n
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