[发明专利]波前传感器的检测装置和方法有效
| 申请号： | 201710210769.X | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN108663192B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 翟思洪;何经雷 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波前传感器的检测装置和方法，该装置包括：干涉仪，用于产生平面波，并测量光路中的波像差；分光镜，用于对所述平面波进行分光，使一部分平面波入射到波前传感器，另一部分平面波投射至所述干涉仪；相位差板，可拆卸式安装在光路中，用于引入固定像差；缩束透镜组，用于改变光束波前的口径，使检测光束可以完全入射到波前传感器；以及数据采集分析系统，与所述干涉仪和波前传感器分别连接，用于计算波前传感器的测量精度。本发明可以实现对夏克‑哈特曼波前传感器波像差测量精度的检测，且可以有效扣除测量光路自身的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种波前传感器的检测装置，其特征在于，包括：干涉仪，用于产生平面波，并测量光路中的波像差；分光镜，用于对所述平面波进行分光，使一部分平面波入射到波前传感器，另一部分平面波投射至所述干涉仪；相位差板，可拆卸式安装在光路中，用于引入固定像差；缩束透镜组，用于改变光束波前的口径，使检测波前可以完全入射到波前传感器；以及数据采集分析系统，与所述干涉仪和波前传感器分别连接，用于计算波前传感器的波像差测量精度。
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