[发明专利]波前传感器的参数标定装置和方法有效
| 申请号： | 201710210774.0 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN108663125B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 翟思洪;何经雷 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波前传感器的参数标定装置和方法，该装置包括：平面波产生装置；光阑，设置在平面波产生装置与夏克‑哈特曼波前传感器之间，用于对平面波进行约束；位置调整装置，用于对夏克‑哈特曼波前传感器进行角度调整；三轴位移干涉仪，用于测量夏克‑哈特曼波前传感器的角度调整量；及数据处理分析系统，与夏克‑哈特曼波前传感器和三轴位移干涉仪分别连接，用于实时接收夏克‑哈特曼波前传感器在角度调整中的测量数据和三轴位移干涉仪测得的夏克‑哈特曼波前传感器角度调整量，计算夏克‑哈特曼波前传感器的物理参数的测量。本发明可以测量微透镜阵列到光电探测器之间的距离、安装的倾斜偏差，实现对夏克‑哈特曼波前传感器的标定。 | ||
| 搜索关键词： | 哈特曼波前传感器 角度调整 干涉仪 平面波 三轴 波前传感器 参数标定 产生装置 测量 数据处理分析系统 位置调整装置 光电探测器 微透镜阵列 测量数据 倾斜偏差 实时接收 物理参数 标定 光阑 | ||
【主权项】：
1.一种波前传感器的参数标定装置，其特征在于，包括：平面波产生装置，用于产生平面波；光阑，设置在平面波产生装置与夏克‑哈特曼波前传感器之间，用于对平面波进行约束；位置调整装置，用于对所述夏克‑哈特曼波前传感器进行角度调整；三轴位移干涉仪，用于测量所述夏克‑哈特曼波前传感器的角度调整量；以及数据处理分析系统，与所述夏克‑哈特曼波前传感器和三轴位移干涉仪分别连接，用于实时接收所述夏克‑哈特曼波前传感器在角度调整中的测量数据和三轴位移干涉仪测得的所述夏克‑哈特曼波前传感器角度调整量，计算所述夏克‑哈特曼波前传感器的物理参数，所述夏克‑哈特曼波前传感器的物理参数包括所述夏克‑哈特曼波前传感器中微透镜阵列相对于光电探测器安装的倾斜偏差、微透镜阵列与光电探测器之间的距离及所述夏克‑哈特曼波前传感器的倾斜测量精度中的一种或多种。
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