[发明专利]一种测量薄膜材料电光系数的装置及方法在审
| 申请号： | 201710211806.9 | 申请日： | 2017-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN106841041A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 万郑贿;张亚磊;李金成;王乾丰;刘爽;张尚剑;刘永;钟智勇 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/45 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量薄膜材料电光系数的装置及方法，属于电子信息材料测试领域。本发明通过薄膜分析仪、计算机、可控电压源和测试箱搭建测试平台，基于干涉原理测得薄膜材料的干涉光强随入射波长改变的实际吸收光谱曲线，然后采用计算机软件进行分析得到薄膜材料在目标电压下的折射率n，通过调整目标电压变化，获得薄膜材料折射率随直流电压变化的曲线，通过数据拟合即可得到薄膜材料的电光系数。本发明通过非接触式测量能够在不破坏薄膜表面的情况下测得薄膜材料电光系数，测量精度高，在电光系数的测量领域中有较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 薄膜 材料 电光 系数 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜材料电光系数的测量装置，包括薄膜分析仪(5)，所述薄膜分析仪(5)包括工作台(1)、光源(13)、Y型光纤(12)、干涉光谱仪(14)以及计算机(6)，Y型光纤(12)的两个光纤臂分别与光源(13)及干涉光谱仪(14)相连，干涉光谱仪(14)与计算机(6)相连，其特征在于，还包括测试单元，所述测试单元包括待测样品(4)和与待测样品(4)电连接的可控电压源(7)，其中：待测样品(4)置于工作台(1)上，Y型光纤(12)的共同端设于待测样品(4)上方，使得光源(13)发出的光束通过Y型光纤(12)入射到工作台上的待测薄膜(9)表面。
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