[发明专利]含铜碱性蚀刻液循环再生回用设备及方法

摘要

本发明公开一种含铜碱性蚀刻液循环再生回用设备及方法包括有废液收集缸、废液储罐、循环槽、电解槽、再生液储罐、调药缸以及再生子液储罐；该废液收集缸和废液储罐收集含铜蚀刻液；该循环槽对废液进行恒温和调均匀废液中铜离子浓度；该电解槽将循环槽内的废液采用电沉积铜工艺电解得到铜板，电解后的废液成为再生液，再生液存储在再生液储罐中；该调药缸对再生液参数进行调配成为再生子液；该再生子液储罐控制再生子液进入蚀刻机。采用电沉积铜的工艺将含铜的碱性蚀刻液电解得到高纯度铜，经济效益显著，且再生后蚀刻液可循环使用，从而节约了购买子液的成本，废水零排放，保护了环境和设备工艺先进，自动化程度高，且该设备销售价格低。

主权项

一种含铜碱性蚀刻液循环再生回用设备，其特征在于：包括有一蚀刻机，蚀刻机产生含铜碱性蚀刻废液；一废液收集缸，废液收集缸用于收集蚀刻机产生的含铜碱性蚀刻废液；一废液储罐，由一第一污水泵将废液收集缸内的含铜碱性蚀刻废液抽入废液储罐中进行存储；一循环槽，由一第二污水泵将废液储罐内的废液经第一管道抽入循环槽中，循环槽起保持电解液温度恒定和使电解液铜离子浓度均匀的作用；一电解槽，电解槽的内顶部通过第二管道连通循环槽的内顶部，废液采用电沉积铜工艺电解得到铜板，电解后的电解液成为再生液,电解槽内具有阳极和阴极，阳极为石墨板，该阴极为不锈钢板；一再生液储罐，由一第一高压泵将循环槽内的再生液经第三管道抽入再生液储罐内进行存储，同时第一高压泵的输出口连通电解槽，以及由第二高压泵将循环槽内的再生液经第四管道抽入再生液储罐内进行存储；一调药缸，由一第三高压泵将再生液储罐内的再生液经第五管道抽入调药缸内，调药缸对再生液参数进行调配成为再生子液，第三高压泵还将部分再生液抽回循环槽中，构成一循环；一再生子液储罐，由一第一液泵将调药缸内的再生子液经第六管道抽入再生子液储罐中进行储存，储存的再生子液由一第二液泵经第七管道抽入蚀刻机内进行循环使用。