[发明专利]一种磁悬浮平面电机动子悬浮高度测量系统及方法

摘要

一种磁悬浮平面电机动子悬浮高度测量系统及方法，该系统包括八个Z向电涡流传感器、两个Y向电涡流传感器、一个Y向光栅尺和一个X向容栅尺。八个Z向电涡流传感器平均分为四组，每组测一个位置上的动子悬浮高度。所述方法首先确定各Z向电涡流传感器在固定坐标系中的位置；将各Z向电涡流传感器坐标平移到一个重复单元内；在每组中选出当前伺服周期中靶区与散热孔不重合的一个Z向电涡流传感器的读数；对四个组在不同伺服周期中选出的读数组成的信号分别进行低通滤波，得到四组Z向电涡流传感器所在位置上的悬浮高度信号；将四组信号取平均得到动子的悬浮高度信号。本发明所提供的方法能够排除散热孔对悬浮高度测量的干扰，实现动子悬浮高度的准确测量。

主权项

1.一种磁悬浮平面电机动子悬浮高度测量系统，其特征在于，所述测量系统包括八个Z向电涡流传感器，即：Z向一号电涡流传感器(1)、Z向二号电涡流传感器(2)、Z向三号电涡流传感器(3)、Z向四号电涡流传感器(4)、Z向五号电涡流传感器(5)、Z向六号电涡流传感器(6)、Z向七号电涡流传感器(7)和Z向八号电涡流传感器(8)；两个Y向电涡流传感器，即：Y向一号电涡流传感器(9)和Y向二号电涡流传感器(10)；一个X向容栅尺(11)和一个Y向光栅尺(12)；建立平面电机定子上的固定坐标系O‑XYZ以及平面电机动子上的随动坐标系Os‑XsYsZs，固定坐标系O‑XYZ中X轴和Y轴在定子(13)上表面分别沿着平行和垂直线缆(17)延伸的方向，Z轴垂直于定子(13)上表面向上，原点O位于定子上表面X方向和Y方向的坐标均最小的散热孔(15)中心，初始状态下动子未悬浮时两个坐标系完全重合；所述八个Z向电涡流传感器均安装于磁浮平面电机动子(14)下表面，靶面均为磁悬浮平面电机定子(13)上表面，其中Z向一号电涡流传感器(1)、Z向二号电涡流传感器(2)、Z向三号电涡流传感器(3)和Z向四号电涡流传感器(4)安装于与平面电机动子随动坐标系Os‑XsYsZs中Ys轴平行的一条直线上，Z向五号电涡流传感器(5)、Z向六号电涡流传感器(6)、Z向七号电涡流传感器(7)和Z向八号电涡流传感器(8)安装于与平面电机动子随动坐标系Os‑XsYsZs中Ys轴平行的另一条直线上；所述八个Z向电涡流传感器分为四组，依次是Z向一号电涡流传感器(1)和Z向二号电涡流传感器(2)为第一组、Z向三号电涡流传感器(3)和Z向四号电涡流传感器(4)为第二组、Z向五号电涡流传感器(5)和Z向六号电涡流传感器(6)为第三组、Z向七号电涡流传感器(7)和Z向八号电涡流传感器(8)为第四组，每组的两个Z向电涡流传感器安装于相邻的位置，各组中两个电涡流传感器的间距相同，且需要小于平面电机定子(13)上表面磁钢阵列Y方向的极距PY减去两倍平面电机定子散热孔(15)直径再减去两倍Z向电涡流传感器靶区直径；所述Y向一号电涡流传感器(9)和Y向二号电涡流传感器(10)均安装于磁悬浮平面电机动子(14)侧面，靶面均为线缆台(18)侧面，测量平面电机动子相对于线缆台在Y方向的运动；所述X向容栅尺(11)的读数头安装于动子(14)侧面，标尺贴于线缆台(18)上靠近动子的侧面上，用于测量平面电机动子X方向的运动；所述Y向光栅尺(12)的读数头安装于线缆台(18)上，标尺贴于平面电机定子(13)侧面，用于测量平面电机动子(14)的Y方向的运动。