[发明专利]研磨用组合物及其制造方法以及磁研磨方法

摘要

本发明涉及研磨用组合物及其制造方法以及磁研磨方法。本发明提供磁性颗粒不易发生氧化的研磨用组合物及磁研磨方法。研磨用组合物(1)含有磁性颗粒、用于抑制磁性颗粒的氧化的抗氧化剂、和水。对该研磨用组合物(1)施加磁场而形成含有磁性颗粒的磁粒簇(3)，使磁粒簇(3)接触研磨对象物(5)而对研磨对象物(5)进行研磨。

主权项

1.一种研磨用组合物，其含有磁性颗粒、用于抑制所述磁性颗粒的氧化的抗氧化剂、和水，所述磁性颗粒含有铁、铁的氧化物及铁的合金中的至少1种，所述抗氧化剂为烯基琥珀酸衍生物、联吡啶衍生物、二氮杂菲衍生物、三唑衍生物、苯并三唑衍生物及分子中不具有碳‑碳多重键的胺中的至少1种，所述分子中不具有碳‑碳多重键的胺包含下述式(6)、(7)、(8)、或(9)所示的化合物，上述式(6)所示的化合物的R61、R62、R63各自独立地为氢原子、烷基、或羟基烷基，或者各自独立地为羧基烷基、膦酸烷基、或磺酸烷基，R61、R62、R63可以碳原子彼此键合而形成环状烷烃，但是R61、R62、R63这三者不同时为氢原子，上述式(7)所示的化合物的R71、R72、R73、R74各自独立地表示氢原子、烷基、或羟基烷基，R71、R72、R73、R74可以碳原子彼此键合而形成环状烷烃，上述式(7)所示的化合物的R75表示碳数2以上且10以下的亚烷基，上述式(8)所示的化合物的R81、R82、R83、R84、R85各自独立地表示氢原子、烷基、或羟基烷基，R81、R82、R83、R84、R85可以碳原子彼此键合而形成环状烷烃，上述式(8)所示的化合物的R86、R87表示碳数2以上且10以下的亚烷基，上述式(9)所示的化合物的R91、R92、R93、R94、R95、R96各自独立地表示氢原子、烷基、或羟基烷基，R91、R92、R93、R94、R95、R96可以碳原子彼此键合而形成环状烷烃，上述式(9)所示的化合物的R97、R98、R99表示碳数2以上且10以下的亚烷基。