[发明专利]一种基于分流法的自适应湿度发生方法及控制装置

摘要

本发明公开了一种基于分流法的自适应湿度发生方法及控制装置，其由湿度发生器和电脑上位机两部分组成。其中湿度发生器主要组成部分为：四个质量流量控制器、饱和器、温度及压力传感器、下位机控制器。发生器发生的湿气湿度的控制是由电脑上位机控制下位机控制器，从而控制四路质量流量控制器将四路气体按比例混合来实现的。本发明结构简单，造价较低，通过在计算机上输入要发生的湿度即可使发生器自动发生固定湿度的气体。本发明发生湿气露点范围可达到‑60℃～10℃。

主权项

1.一种基于分流法的自适应湿度发生控制装置，主要由湿度发生器和电脑上位机两部分组成，其中湿度发生器主要组成部分为：一级干气质量流量控制器、一级湿气质量流量控制器、二级干气质量流量控制器、二级湿气质量流量控制器、饱和器、温度及压力传感器、下位机控制器，电脑上位机用于与湿度发生器实时通讯，控制湿度发生器自动发生设定的露点温度的气体，对湿度发生器四路质量流量控制器实际输出的流量、饱和器温度进行监测，湿度发生器干气气源(1)经过减压阀(2)分别连接一级干气质量流量控制器(3)、一级湿气质量流量控制器(4)、二级干气质量流量控制器(5)，一级干气质量流量控制器(3)、一级湿气质量流量控制器(4)、二级干气质量流量控制器(5)分别用于调节一级干气、一级湿气和二级干气的流量；一级湿气经过单向阀(7)和饱和器(8)与一级干气混合后分别通入一级流量调节阀(11)和二级湿气质量流量控制器(6)；一级流量调节阀(11)用于调节一级气(12)的排空流量，当一级气压力过小时此阀要适当关闭，以保证二级湿气质量流量控制器(6)有足够的供气压力；二级湿气与二级干气混合为发生气(13)输出，上位机提供人机界面，实现与下位机的实时通讯，通过调用遗传算法计算，来辅助实现对四路质量流量控制器的控制流量的计算，用户在上位机人机界面上输入要发生的湿气的露点温度及干气气源的露点温度，湿度发生器则可以自动发生出设定露点的气体，同时上位机向下位机传送四路质量流量控制器的控制参数，下位机向上位机传输四路质量流量控制器得监测值、温度和压力传感器的测量值，因此通过上位机人机界面可以实时监测通过四路质量流量控制器的气体流量、饱和器温度和一级气压力。/n