[发明专利]一种中高能电子枪

摘要

本发明公开了一种中高能电子枪，包括：电子枪体、差分抽气管、电极法兰和高压Q9头排布板；其中，电极法兰固定设置在差分抽气管上，高压Q9头排布板固定设置在电极法兰后端；差分抽气管上还分别设有法兰底座、差分抽气接口和真空计接口；电子枪体固定设置在法兰底座接口内侧；电子枪体包括：热阴极灯丝、压片、栅极底座、阳极、聚焦极、偏转机构、钼片、第一绝缘垫片、第二绝缘垫片、第三绝缘垫片、枪头和外筒。该电子枪由于采用栅极底座、阳极、聚焦极构成的二级聚焦透镜，其聚焦性能和平行性能好良好，枪头内设置偏转机构使得束斑位置可调，该电子枪结构简单且性能稳定。

主权项

1.一种中高能电子枪，其特征在于，包括：电子枪体、差分抽气管、电极法兰和高压Q9头排布板；其中，电极法兰固定设置在差分抽气管上，高压Q9头排布板固定设置在电极法兰后端；差分抽气管上还分别设有法兰底座、差分抽气接口和真空计接口；电子枪体固定设置在法兰底座接口内侧；电子枪体包括：外筒，该外筒内从后至前依次固定设置栅极底座、阳极和聚焦极，阳极后端伸入到栅极底座前端内，聚焦极后端伸入到阳极前端内，该外筒前端设置枪头，枪头内固定设置偏转机构；阳极前端设有带通孔的第一钼片，聚焦极前端设有带通孔的第二钼片；栅极底座、阳极和聚焦极与外筒之间均设有绝缘垫片，偏转机构与枪头之间设有第三绝缘垫片；所述栅极底座为圆筒形，该栅极底座内设有锥形口底座，热阴极灯丝通过压片固定安装在所述栅极底座的锥形口底座内，所述栅极底座上远离所述热阴极灯丝一端设有一圈楔形圆环；高压Q9头排布板经电缆分别与电子枪体的栅极底座、阳极、聚焦极、偏转机构和热阴极灯丝电气连接。