[发明专利]表膜

摘要

本发明涉及一种表膜。[课题]目的在于提供：FPD用途中使用分辨率2.0μm及以下的曝光机时使用的面积1000cm2以上的表膜，其为对图案尺寸精度造成的影响少、被转印的图案中不产生不良情况的表膜。[解决手段]一种表膜，其包含：具备面积1000cm2以上的俯视矩形的开口部的表膜用框体；位于该表膜用框体的一个端面的以覆盖前述开口部的方式张开而得到支撑的表膜用膜；以及位于前述表膜用框体的另一个端面的掩模粘合剂，前述表膜用膜的膜厚为1.0μm以上且3.0μm以下，前述表膜用膜面内的膜厚波动为80nm以下。

主权项

一种表膜，其包含：具备面积1000cm2以上的俯视矩形的开口部的表膜用框体；位于该表膜用框体的一个端面的以覆盖所述开口部的方式张开而得到支撑的表膜用膜；以及位于所述表膜用框体的另一个端面的掩模粘合剂，所述表膜用膜的膜厚为1.0μm以上且3.0μm以下，所述表膜用膜面内的膜厚波动为80nm以下。