[发明专利]一种多焦点仿生复眼结构的成形方法有效
| 申请号： | 201710219871.6 | 申请日： | 2017-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN106842388B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 曹阿秀;史立芳;邓启凌;张满;庞辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多焦点仿生复眼结构的成形方法，涉及微细加工，仿生复眼等领域。该方法主要步骤为：(1)基材的选择以及光刻胶旋涂；(2)移动掩模曝光，实现平面连续面形多焦点复眼结构的光刻胶成形；(3)将平面多焦点复眼光刻胶结构刻蚀传递到基材上；(4)基于基材上多焦点复眼结构，制备与之互补的柔性多焦点复眼结构模板；(5)引入光固化材料，利用曲率相互匹配的结构装置，将平面多焦点仿生复眼结构信息转移变换为曲面结构，形成一体化的多焦点仿生复眼结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 焦点 仿生 复眼 结构 成形 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多焦点仿生复眼结构的成形方法，其特征在于包含以下步骤：步骤(1)基材的选择以及光刻胶旋涂；步骤(2)移动掩模曝光，实现平面连续面形多焦点复眼结构的光刻胶成形；步骤(3)将平面多焦点复眼光刻胶结构刻蚀传递到基材上；步骤(4)基于基材上多焦点复眼结构，制备与之互补的柔性多焦点复眼结构模板；步骤(5)引入光固化材料，利用曲率相互匹配的结构装置，将平面多焦点仿生复眼结构信息转移变换为曲面结构，形成一体化的多焦点仿生复眼结构。
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