[发明专利]一种LED晶圆快速退火炉的校温方法

摘要

一种LED晶圆快速退火炉的校温方法，属于半导体材料的生产技术领域，本发明在横向温场校准后另外增加纵向温场的校准，以保证LED晶圆在快速退火过程中平面与翘曲面温度基本一致，以确保退火的效果，很好地解决了因翘曲导致温场不一致的问题，使LED晶圆在平面与翘曲面均能形成良好的欧姆接触，从而提高LED晶圆，特别是4寸及以上LED晶圆的快速退火合格率。

主权项

1.一种LED晶圆快速退火炉的校温方法，其特征在于包括以下步骤：1）在快速退火炉的正方形石墨承片台上放置八个热电耦，所述八个热电耦分两组布置，每组四个，第一组的四个热电耦分别布置在承片台的4个角，第二组的四个热电耦分别布置在承片台的中心，且八个热电耦处于同一水平面；2）通过调整快速退火炉内不同位置的加热源的PID值，使得八个热电耦传感的任意两个温度之间的偏差小于±5℃；3）将第一组的四个热电耦分别垫高至距石墨承片台2.5mm处，再通过调整快速退火炉内不同位置的加热源的PID值，使得八个热电耦传感的任意两个温度之间的偏差小于±5℃。