[发明专利]一种实现非对称传输的单层金纳米结构及其制备方法

摘要

本发明实现非对称传输的单层金纳米结构及其制备方法，该结构通过准备基底、涂光刻胶、涂胶后烘干、电子束曝光结构图形、显影、定影、定影后烘干、镀金、剥离光刻胶、吹干十个步骤制备；本发明的结构简单，其结构的连通性可以增强光和金属微纳结构的耦合，实现光的非对称透射特性；且通过将该结构的第一竖体与第三竖体的长度设置不相等，会比第一竖体与第三竖体长度相等时多出两个共振模式，可以实现多个频段的调控；并且产生两个相对较大的非对称传输效应；另外，本发明的制备方法曝光结构图形过程中，电子束是对结构的图形部分进行刻蚀，节省了结构图形的曝光时间，提高了制备效率。

主权项

1.一种实现非对称传输的单层金纳米结构，其特征在于：所述结构由多个相同的结构单元上下、左右连接而成，所述结构单元为周期边长相等的单层结构，且所有结构单元均位于同一平面；所述结构单元包括第一横体（1）、第二横体（2）和第三横体（3），所述第一横体（1）、第二横体（2）和第三横体（3）相互平行，所述第二横体（2）与第一横体（1）和第三横体（3）的距离相等，且第一横体（1）、第二横体（2）和第三横体（3）的中心在同一条直线上；所述第一横体（1）和第三横体（3）的长度相等；所述第二横体（2）的长度小于第一横体（1）的长度；还包括第二竖体（5），所述第二竖体（5）的两端分别与所述第一横体（1）和第三横体（3）连接，且与第一横体（1）和第三横体（3）相互垂直，所述第二竖体（5）穿过第二横体（2）的中心；在所述第二横体（2）的两端还有与第二横体（2）垂直连接的第一竖体（4）和第三竖体（6），所述第一竖体（4）向第一横体（1）的方向延伸，且未触及第一横体（1），所述第三竖体（6）向第三横体（3）的方向延伸，且未触及第三横体（3）；所述第二横体（2）的长度与第一竖体（4）的宽度、第二竖体（5）的宽度之和小于第一横体（1）的长度；所述第一竖体（4）和第三竖体（6）的宽度相等；所述第一竖体（4）与第三竖体（6）的长度不相等，所述结构的材料为金。