[发明专利]一种光产生热电子电流的方法有效
申请号: | 201710221511.X | 申请日: | 2017-04-06 |
公开(公告)号: | CN107134505B | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 高斐;姜杰轩;李娟;雷婕;王昊旭;胡西红 | 申请(专利权)人: | 陕西师范大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人: | 高雪霞 |
地址: | 710062 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种光产生热电子电流的方法,该方法利用简单易得的三角形铜箔和容易制备的氧化锌掺铝薄膜之间的物理接触,然后利用氦氖激光照射三角形铜箔与薄膜表面接触角的角尖,激发铜箔表面产生表面等离子体激元,通过表面等离子体的电磁衰减在铜箔表面产生高能的热电子,通过金属铜和半导体之间合适的势垒,产生热电子电流。本发明通过调节三角形铜箔与薄膜表面接触角的角度,即可实现不同效率的光转化热电子电流,方法简单,易于集成。 | ||
搜索关键词: | 一种 生热 电子 电流 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光产生热电子电流的方法,其特征在于:在玻璃衬底上通过磁控溅射沉积上一层氧化锌掺铝薄膜,并在薄膜表面垂直立一片三角形铜箔,使三角形铜箔的任意一角的角尖与薄膜表面接触,然后用氦氖激光照射三角形铜箔与薄膜表面接触角的角尖,即可产生热电子电流。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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