[发明专利]干涉仪模块

摘要

本发明涉及一种适用于测量参考反射镜和测量反射镜之间的位移的方向的差分干涉仪模块。在实施例中，差分干涉仪模块适用于将三种参考光束向着第一反射镜发射并将三种测量光束向着第二反射镜发射，以便确定所述第一反射镜和所述第二反射镜之间的位移。在优选实施例中，该同一模块也适用于测量绕两个垂直轴的相对旋转。本发明还涉及一种用于测量这样的位移和旋转的方法。

主权项

一种差分干涉仪模块，包括：光束源，用于提供相干激光束；分束器单元，用于将所述相干激光束分成测量光束和相关联的参考光束，引导所述测量光束以入射到第一反射镜上并被该第一反射镜反射，以及引导所述参考光束以入射到第二反射镜上并被该第二反射镜反射，所述第二反射镜能够相对于所述第一反射镜移动；光束组合器，用于将经过反射的所述测量光束和经过反射的所述参考光束组合成组合光束；一个或多个检测器，用于检测所述组合光束的强度或能量，以及用于提供与所述第一反射镜和第二反射镜之间的相对位置相关的一个或多个输出信号，壳体，所述壳体设置有第一孔和第二孔，所述第一孔用于允许所述测量光束从壳体内到所述壳体之外的通过以及用于允许经过反射的所述测量光束从所述壳体之外到所述壳体内的通过，所述第二孔用于允许所述参考光束从所述壳体内到所述壳体之外的通过以及用于允许经过反射的参考光束从壳体之外到壳体内的通过，其中，所述分束器单元、所述光束组合器以及所述一个或多个检测器被布置在所述壳体内，信号线(54)，用于把所述输出信号从所述差分干涉仪模块发送给信号处理模块，以及其中，所述光束源包括光纤(92)，所述光纤在所述壳体之外延伸并且被配置为耦合到激光器单元。