[发明专利]一种电吸收调制激光器及其制备方法

摘要

本发明提供一种电吸收调制激光器及其制备方法。本发明提供的电吸收调制激光器包括SiO₂‑Si‑Metal复合衬底、调制‑激光模块、绝缘层和金属电极层；所述SiO₂‑Si‑Metal复合衬底具有夹心结构，包括分布于硅片两面的金属层和SiO₂层；所述调制‑激光模块的总腔长为30～600μm，横截面直径为0.8～5μm，包括分布于一条直线上的调制区和激光区，具有量子阱结构；所述激光区包括两个法布里‑波罗腔；所述调制‑激光模块分布于SiO₂层上表面，量子阱结构平行于复合衬底；所述绝缘层分布于SiO₂层上表面，并且覆盖调制‑激光模块；所述金属电极层覆盖于绝缘层表面与调制区对应的部分，体积小，集成度高。

主权项

1.一种电吸收调制激光器，包括SiO₂‑Si‑Metal复合衬底、调制‑激光模块、绝缘层和金属电极层；所述SiO₂‑Si‑Metal复合衬底具有夹心结构，包括分布于硅片两面的金属层和SiO₂层；所述调制‑激光模块包括分布于一条直线上的调制区和激光区，具有量子阱结构，所述激光区包括两个法布里‑波罗腔；所述调制‑激光模块的总腔长为30～600μm，横截面直径为0.8～5μm；所述调制‑激光模块分布于所述SiO₂层的上表面，且量子阱结构平行于复合衬底；所述绝缘层分布于所述SiO₂层的上表面，并且覆盖所述调制‑激光模块；所述金属电极层覆盖于绝缘层表面与调制区对应的部分；所述调制区的腔长为20～500μm。