[发明专利]一种测量玻璃表面粗糙薄膜复折射率的方法和装置在审
| 申请号： | 201710222734.8 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN106885787A | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 黄佐华;吴亦冬;袁凯华 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人： | 苏运贞,裘晖 |
| 地址： | 510631 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量玻璃表面粗糙薄膜复折射率的方法和装置。该方法将棱镜、匹配液和载玻片组装成复合棱镜，载玻片的一面镀有粗糙的待测薄膜，待测薄膜位于复合棱镜的最底部；棱镜、匹配液和和载玻片的折射率相同；使用一束激光从复合棱镜的一侧入射到复合棱镜的底面，经粗糙薄膜与复合棱镜的交界面反射后的光束从棱镜另一侧面出射，测量反射光的光强；逐步旋转复合棱镜或改变复合棱镜的入射角，得到反射光强随入射角变化曲线，再与入射光束光强比较，得到待测薄膜反射率随入射角变化的实验曲线，计算出光强总反射率，再依据光强总反射率计算得到待测薄膜的复折射率。该方法测量精度高，不受复合棱镜的折射率限制，能测量粗糙薄膜的复折射率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 玻璃 表面 粗糙 薄膜 折射率 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种测量玻璃表面粗糙薄膜复折射率的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)将棱镜、匹配液和和载玻片组装成复合棱镜，载玻片的一面镀有粗糙的待测薄膜，待测薄膜位于复合棱镜的最底部；其中，棱镜、匹配液和载玻片的折射率相同；(2)使用一束激光从复合棱镜的一侧入射到复合棱镜的底面，经粗糙薄膜与复合棱镜的交界面反射后的光束从棱镜另一侧面出射，测量反射光的光强；逐步旋转复合棱镜或改变复合棱镜的入射角，得到反射光强随入射角变化曲线，再与入射光束光强比较，得到待测薄膜光强反射率随入射角变化的反射率实验曲线；利用反射率实验曲线与理论反射曲线进行数值拟合，得到待测薄膜的复折射率。
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