[发明专利]多定位平台的微纳操作系统方案设计

摘要

多定位平台的微纳操作系统方案设计。微纳操作控制器的操作范围小、种类单一，效率不高，因此提出一种多定位平台的操作系统实现对不同被测物的操作，各平台采用不同的定位方法实现对被测物的精细定位。本发明中：定位平台（1）对被测物的放置及定位；伺服电机（2）调整定位平台和操作器；旋转盘1（3）旋转操作器对不同平台进行操作；交叉移动平台（4）移动操作器实现对每个平台的操作；CCD相机、光学显微镜（5）辅助操作探针进行粗定位；光源照明系统（6）提供照明，方便操作进行；微夹持器（7）夹持并旋转探针；当相机对被测物进行提取分析之后，通过转盘2（8）使探针与相机位置互换，完成操作任务。本发明用于微纳操作控制领域。

主权项

1.一种多定位平台的微纳操作系统，其特征在于，该系统采用多定位平台来实现对不同操作物的定位操作，合理分配操作腔内的空间，均匀分布，运动控制部分采用三轴运动平台作为执行机构，通过控制X轴与Y轴实现测量视场的变换，通过控制Z轴使操作臂上下移动，高度调整，实现自动聚焦，被设计的执行机构可沿机身十字移动，以对每一个定位平台操作，提高操作效率，所述的定位平台（1），用于对不同操作物的放置及定位；伺服电机（2），实现三维运动控制，调整定位平台和操作器；旋转盘1（3）用于对操作器的方向旋转，以对不同定位平台进行操作；交叉移动平台（4），用于移动操作器，实现对每一个定位平台操作；CCD相机、光学显微镜（5）用于辅助操作探针进行粗定位；光源照明系统（6），采用LED 环形光源与同轴光源相结合提供系统照明；微夹持器（7）固定夹持探针，具有旋转功能，可以调节探针提取被测物的角度；旋转盘2（8）旋转操作臂，使探针与相机位置互换，完成操作任务。