[发明专利]半导体激光二极管及其制造方法有效
申请号: | 201710223119.9 | 申请日: | 2017-02-23 |
公开(公告)号: | CN107104362B | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | R·保莱蒂;C·科里亚索;P·卡莱法蒂 | 申请(专利权)人: | 普里马电子股份公司 |
主分类号: | H01S5/125 | 分类号: | H01S5/125;H01S5/343 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 王爱华 |
地址: | 意大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种激光二极管器件,包括:衬底;至少一个第一披覆层,设置在所述衬底上;活性层,设置在所述第一披覆层上并且布置为发射辐射;至少一个第二披覆层,设置在所述活性层上,所述披覆层适于形成异质结,从而允许电流有效注入所述活性层和光限制;第一端面和第二端面,相对于所述披覆层与所述活性层横向设置,并且通过干法或湿法刻蚀和/或其组合形成在所述层中;周期性结构,设置在所述第二端面附近以及所述第二披覆层内部,并且属于光腔,其中所述第一端面代表输出镜,由所述活性层产生的辐射从其出射,以及所述第二端面由周期性结构集成,代表具有高反射率的第二镜,从而由所述活性层产生的辐射几乎完全通过所述第一镜出射。 | ||
搜索关键词: | 半导体 激光二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种激光二极管器件,包括:衬底(2);至少一个第一披覆层(4),设置在所述衬底(2)上;活性层(6),设置在所述第一披覆层(4)上并且布置为发射辐射;至少一个第二披覆层(8),设置在所述活性层(6)上,所述第一披覆层(4)和第二披覆层(8)适于形成异质结,从而允许电流有效注入所述活性层(6)和光限制;第一端面(10a)和第二端面(10b),相对于所述第一披覆层(4)、第二披覆层(8)和所述活性层(6)横向设置,并且通过干法刻蚀或湿法刻蚀和/或其组合形成在所述第一披覆层、第二披覆层和活性层中;周期性结构(12),设置成靠近所述第二端面(10b)并在所述第二披覆层(8)内部,并且属于光腔,其中所述第一端面(10a)代表输出镜,由所述活性层(6)产生的辐射从其出射,以及所述第二端面(10b)由周期性结构(12)集成,代表具有高反射率的第二镜,从而所述活性层(6)产生的辐射几乎完全通过所述第一镜(10a)出射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于普里马电子股份公司,未经普里马电子股份公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710223119.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。