[发明专利]顶栅型薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示面板在审
| 申请号： | 201710224236.7 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN106981478A | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 张建业;李伟;张星 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/552 | 分类号： | H01L23/552;H01L29/786;H01L21/34;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司11403 | 代理人： | 王安娜,李翔 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种顶栅型薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示面板，包括形成在衬底基板与有源层之间的遮光层，所述遮光层采用非金属材料制成。本发明提供的顶栅型薄膜晶体管以非金属材料作为遮光层，不但避免了金属层作为遮光层所产生的寄生电容，并且可以有效地减少漏光对有源区影响，从而有效地提升了产品良率和器件性能。还可以简化薄膜晶体管的结构，从而可以有效地减少工艺复杂度，缩减薄膜晶体管的制作工序。 | ||
| 搜索关键词： | 顶栅型 薄膜晶体管 及其 制作方法 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种顶栅型薄膜晶体管，其特征在于，包括形成在衬底基板与有源层之间的遮光层，所述遮光层采用非金属材料制成。
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