[发明专利]一种α相微孔氧化铝陶瓷的制备方法有效
| 申请号： | 201710224817.0 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN106866168B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 刘波波;张伟;杨晓青 | 申请（专利权）人： | 西安明科微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B38/00 | 分类号： | C04B38/00;C04B35/10;C04B35/622;C04B35/645;B01D39/20;B01J20/08;B01J20/30 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710100 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
一种α相微孔氧化铝陶瓷的制备方法，氧化铝80～100％,氮化硼粉0～20％，混合均匀。将混合粉料装入石墨坩埚内。将装有粉料的石墨坩埚装入中频感应烧结炉中，在坩埚顶部盖上石墨纸盖和石墨毡。炉内抽真空至炉内压力小于10 |
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| 搜索关键词： | 一种 微孔 氧化铝陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种α相微孔氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)取质量分数大于等于80％且小于100％的氧化铝和质量分数大于0％且小于等于20％的氮化硼粉，用行星式球磨机将氧化铝和氮化硼球磨2小时混合均匀，氧化铝和氮化硼的组份总和为100％；2)将混合粉料装入石墨坩埚内；3)将装有混合粉料的石墨坩埚装入中频感应烧结炉，在坩埚顶部依次盖上石墨纸盖和石墨毡；4)盖上中频感应烧结炉的炉盖，并对炉内抽真空处理，接着充入氩气至炉内；5)将石墨坩埚加热至1700℃‑2000℃，抽气至气压在1×103Pa～2×103Pa，保温0.5h～4h，使BN掺杂的氧化铝粉料在石墨坩埚顶部石墨纸盖上通过固‑气‑固机理和氧化铝生长螺旋位错机理进行形核生长；6)将中频感应烧结炉内气压充至0.6×105Pa～1×105Pa，随炉冷却至室温，打开中频感应烧结炉的炉盖，在石墨纸盖上得到α相微孔氧化铝陶瓷。
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