[发明专利]一种多晶硅片清洗剂及其使用方法有效
| 申请号： | 201710225101.2 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN106967527A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 王琪琳 | 申请（专利权）人： | 太仓协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/90 | 分类号： | C11D1/90;C11D3/20;C11D3/08;C11D3/04;C11D3/37;C11D3/33;C11D3/60;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 215434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅片清洗剂，包括如下质量份数的组分：柠檬酸钠50～70份；十二烷基二甲基甜菜碱10～30份。所述多晶硅片清洗剂能有效分散硅片上面掉落的砂浆、硅微粉等固体颗粒，使其不易团聚在硅片表面，清洗后硅微粉不随着泡沫漂浮在洗涤液表面，随着清洗硅片的增加不会出现黑印的现象。本发明清洗剂还具有高效的特点，清洗剂单耗不高于6.4L/万片的用量可确保清洗后不出现黑边且成品率99％以上，清洗剂单耗不高于6.6L/万片的用量可确保清洗后不出现黑边且成品率99.9％以上。且所述清洗剂不含磷，耐硬水性好，是一种适合工业应用和环境友好型的多晶硅片洗涤剂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 洗剂 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅片清洗剂，其特征在于，包括如下质量份数的组分：柠檬酸钠 50～70份；十二烷基二甲基甜菜碱 10～30份。
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