[发明专利]基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器

摘要

本发明公开了一种基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，包括框型基座，所述框型基座上的四条边分别通过横梁连接环形连接体，所述环形连接体上安装球形拾振单元，所述球形拾振单元的密度为1g/cm³；四根横梁外侧分别设置有压敏电阻R₁₁、压敏电阻R₁₂、压敏电阻R₁₃和压敏电阻R₁₄，所述框型基座上设置有基准电阻R2、基准电阻R3和基准电阻R4；压敏电阻R₁₁、R₁₂、R₁₃、R₁₄串联后与基准电阻R2、R3和R4通过金属引线连接成惠斯通电桥结构。本发明从理论出发，设计并优化了一种微型化、良好低频特性、高灵敏度、宽工作频带、共模输出、差模抑制的同振型球形振子矢量水听器。

主权项

1.一种基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于：包括框型基座（1），所述框型基座（1）上的四条边分别通过横梁（2）连接环形连接体（3），所述环形连接体（3）上安装球形拾振单元（4），所述球形拾振单元（4）的密度为1g/cm³；四根横梁（2）外侧分别设置有压敏电阻R₁₁、压敏电阻R₁₂、压敏电阻R₁₃和压敏电阻R₁₄，所述框型基座（1）上设置有基准电阻R2、基准电阻R3和基准电阻R4；压敏电阻R₁₁、R₁₂、R₁₃ 、R₁₄串联后与基准电阻R2、R3和R4通过金属引线（5）连接成惠斯通电桥结构，各基准电阻阻值为各压敏电阻阻值的4倍。