[发明专利]一种即热式真空扩散泵在审

专利信息
申请号: 201710227064.9 申请日: 2017-04-10
公开(公告)号: CN108691817A 公开(公告)日: 2018-10-23
发明(设计)人: 戴长虹 申请(专利权)人: 青岛理工大学
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266033 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种即热式真空扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用即热式的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气。
搜索关键词: 蒸发系统 即热式 加热 加热器 真空扩散泵 蒸发器 泵油 隔板 加热方式 控制系统 冷却系统 喷射系统 中间隔板 储油区 加热区 泵体 泵芯 温控 油孔 蒸发
【主权项】:
1.一种即热式真空扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其特征在于:蒸发系统采用即热式的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气。
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