[发明专利]一种即热式真空扩散泵在审
申请号: | 201710227064.9 | 申请日: | 2017-04-10 |
公开(公告)号: | CN108691817A | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 戴长虹 | 申请(专利权)人: | 青岛理工大学 |
主分类号: | F04F9/00 | 分类号: | F04F9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266033 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种即热式真空扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用即热式的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气。 | ||
搜索关键词: | 蒸发系统 即热式 加热 加热器 真空扩散泵 蒸发器 泵油 隔板 加热方式 控制系统 冷却系统 喷射系统 中间隔板 储油区 加热区 泵体 泵芯 温控 油孔 蒸发 | ||
【主权项】:
1.一种即热式真空扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其特征在于:蒸发系统采用即热式的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气。
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