[发明专利]石墨烯电极制备方法及液晶显示面板有效
申请号: | 201710231232.1 | 申请日: | 2017-04-10 |
公开(公告)号: | CN106842729B | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 王海军 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1343 | 分类号: | G02F1/1343;C01B32/184 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨烯电极制备方法,在本发明的制备方法中,通过光刻胶在金属衬底上形成图案化的碳源,或者在碳源上形成图案化的金属层,以通过加热后的金属衬底或者金属层将与其直接接触的碳源催化成石墨烯,从而形成了图案化的石墨烯,即可作为显示装置中的图案化的石墨烯电极使用。显然,本发明的石墨烯电极制备方法,可简化制备过程,并降低石墨烯电极的图案化的难度,降低加工成本。本发明还公开了一种液晶显示面板,其包括由上述方法制备形成的石墨烯电极。 | ||
搜索关键词: | 石墨 电极 制备 方法 液晶显示 面板 | ||
【主权项】:
1.一种石墨烯电极制备方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一金属衬底,去除所述金属衬底表面的氧化物;所述金属衬底上形成一光刻胶层;提供一掩膜版,并通过所述掩膜版对所述光刻胶层曝光;对曝光后的光刻胶层进行显影,从而在所述金属衬底上形成图案化的光刻胶层;在覆盖有图案化的光刻胶层的所述金属衬底上形成碳源,所述碳源的一部分覆盖在图案化的光刻胶层上,另一部分直接覆盖在图案化的光刻胶层露出的金属衬底上;在惰性气体保护下加热所述金属衬底,使直接覆盖在所述金属衬底上的碳源被所述金属衬底催化而形成石墨烯;将图案化的光刻胶层及覆盖在图案化的光刻胶层上的碳源从所述金属衬底上剥离,直接覆盖在所述金属衬底上的石墨烯形成图案化的石墨烯;提供一目标基底,并将图案化的石墨烯转移至所述目标基底上,以在所述目标基底上形成图案化的石墨烯电极。
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