[发明专利]离轴抛物面反射镜的离轴量和焦距测量装置

摘要

本发明公开了一种离轴抛物面反射镜的离轴量和焦距测量装置，属于光学技术领域。它包括底座、转盘，弧形导轨、调节螺栓和支架，转盘置于底座的一端，弧形导轨固定于底座的另一端，其弧线与转盘同圆心，调节螺栓经螺栓座与底座连接，支架两端分别连接在转盘和弧形导轨上，支架上设有互相平行的传感器导轨、反射镜导轨和光栅尺；传感器导轨上设有二维调节架，传感器导轨的转盘一端设有限位块，二维调节架上设有PSD(位置灵敏探测器)传感器、激光测距仪和对焦反射镜；反射镜导轨上设有一维调节架，一维调节架上设有平面反射镜。本发明可实现利用激光干涉仪进行离轴抛物面反射镜零位检测时，离轴量和焦距的精确对准和测量。

主权项

一种离轴抛物面反射镜的离轴量和焦距测量装置，包括底座(1)、转盘(2)，弧形导轨(3)、调节螺栓(4)和支架(5)，其特征在于，转盘(2)置于底座(1)的一端，弧形导轨(3)固定于底座(1)的另一端，其弧线与转盘(2)同圆心，调节螺栓(4)经螺栓座(15)与底座(1)连接，支架(5)两端分别连接在转盘(2)和弧形导轨(3)上，支架(5)上设有互相平行的传感器导轨(8)、反射镜导轨(9)和光栅尺(10)；传感器导轨(8)上设有二维调节架(11)，传感器导轨(8)的转盘(2)一端设有限位块(16)，二维调节架(11)上设有PSD传感器(12)、激光测距仪(14)和对焦反射镜(13)；反射镜导轨(9)上设有一维调节架(6)，一维调节架(6)上设有平面反射镜(7)。