[发明专利]蒸镀监测装置和方法以及薄膜蒸镀装置和方法有效
| 申请号： | 201710232906.X | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN106978598B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 胡月;许名宏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 王安娜;李翔 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀监测装置和方法，所述蒸镀监测装置包括光源，用于照射薄膜的一端面；光强接收部件，用于接收从所述薄膜的另一端面射出的光强；计算单元，用于基于第一薄膜的照射面积，从所述第一薄膜的一端面射入、另一个端面射出的光强，以及从第二薄膜的一端面射入、另一端面射出的光强，计算第二薄膜的照射面积。本发明根据光强接收器接收到的光强的变化来计算薄膜照射面积的变化，可以计算得到薄膜厚度的变化，从而进一步达到监测薄膜蒸镀速率的目的。本发明不受蒸镀温度的影响，尤其是在高温蒸镀过程中，仍能十分准确地得到薄膜蒸镀的速率。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 装置 方法 以及 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀监测装置，其特征在于，包括：光源，用于照射薄膜的一端面；光强接收部件，用于接收从所述薄膜的另一端面射出的光强；计算单元，用于基于第一薄膜的照射面积，从所述第一薄膜的一端面射入、另一个端面射出的光强，以及从第二薄膜的一端面射入、另一端面射出的光强，计算第二薄膜的照射面积。
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