[发明专利]一种振幅型分形螺旋波带片

摘要

本发明公开了一种振幅型分形螺旋波带片，所述振幅型分形螺旋波带片是对螺旋波带片的幅角应用cantor集分形而得的一系列透光螺旋状环带，所述透光螺旋状环带的坐标满足或者本发明通过在螺旋波带片的基础上，结合分形的自相似性，对其幅角应用cantor集分形得到的。相当于从幅角方向挑选出一系列具有自相似性的透明半波带和不透明半波带。与具有相同数值孔径的普通螺旋波带片相比，可以得到一系列带状的涡旋结构。通过调节N和S可以控制分形的周期，得到不同的分形螺旋波带片。在极紫外光刻、微电力系统等研究领域具有广泛的应用前景，并扩展了在可见光、极紫外、X射线等多个波段三维捕获粒子的应用。

主权项

1.一种振幅型分形螺旋波带片，其特征在于，所述振幅型分形螺旋波带片是对螺旋波带片的幅角应用cantor集分形而得的一系列透光螺旋状环带，所述透光螺旋状环带的坐标满足或者式中：p为拓扑荷，p＝1，2，3，……；r为环带的极径，λ为入射光波的波长；f为螺旋波带片的焦距；为极角；q的取值为m'＝M×^sa_i，其中，M为螺旋波带片的总周期数，^sa_i表示cantor集第S阶的第i个部分的起始位置，S为分形的阶次，i取i＝1，2，……，2^S。