[发明专利]一种掩模版基版Cr缺失的检测方法

摘要

本发明公开了一种掩模版基版Cr缺失的检测方法，包括以下步骤：1)、将掩模版涂有光刻胶玻璃面朝上，放在白光下照射；2)、将照射完的掩模版放在显影机里显影；3)、蚀刻机中进行蚀刻；4)、在光学量测设备上扫描蚀刻完的掩模版。本发明的掩模版背曝检测方法使用现有的工艺设备完成，无需其它支撑性设备；曝光时在白光下曝光，无需使用曝光机台和检测机台，有效地减轻了曝光机和检测机台压力，提高产能，操作简便，快捷高效。

主权项

一种掩模版基版Cr缺失的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：1)、将掩模版涂有光刻胶玻璃面朝上，放在白光下照射；2)、将照射完的掩模版放在显影机里显影；3)、蚀刻机中进行蚀刻；4)、在光学量测设备上扫描蚀刻完的掩模版。